- 特點:
1.通過高可靠進程降低碎片率
2.有效減少化學藥品使用量
3.預留擴展工藝借口,可自由進行工藝改進和升級
4.擁有完善的過程監(jiān)控系統(tǒng)和友好的可視化操作界面
5.自動補充藥液實現(xiàn)穩(wěn)定過程控制
6.高擴展性模塊制程線
7.均勻的絨面控制結束有效保證電池片效果 - 規(guī)格:
1.軌道數量:8道
2.硅片尺寸:125mm或156mm
3.125mm 3,490pcs/hr 156mm 2,938pcs/hr
4.碎片率:≤1.5‰
5.產品尺寸:8,700mm(L)*2,435(W)*2,200mm(H)
*以上產能數據按1.2m/min操作速度,40mm前后片間距進行核算
優(yōu)勢:
? 副傳動采用快拆結構,易于養(yǎng)護,獨特的傳動設計有利于降低支架磨損
? 采用噴灑清洗,無需上滾輪,有效降低地碎片率 
? 主副傳動分離防止液體噴濺腐蝕設備
? 微米級孔徑風刀,使用CDA,保證硅片吹干效果且無雜質殘留
? 多組循環(huán)管路均勻分布槽內,多組手動調節(jié),保證藥液的均勻性
? 分組式齒輪便于快速拆卸,易于保養(yǎng)