漢鐘集團于1994年成立辦事處，2007年深圳A股上市。濟南、廣州、南京、重慶分公司相繼設(shè)立，子公司浙江漢聲、上?？旅⑾愀蹪h鐘、越南漢鐘、韓國漢鐘、浙江柯茂陸續(xù)創(chuàng)立。這一切體現(xiàn)了漢鐘人27年來用汗水辛勤耕耘的成果。
跨越27年的歷史，開啟全球性企業(yè)新未來
用途：
Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
特點：
IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域提供優(yōu)良的性能，適用于嚴(yán)苛制程。
它優(yōu)良的性能源自于轉(zhuǎn)子排氣路徑和優(yōu)越的轉(zhuǎn)子型線設(shè)計。
漢鐘獨特型線設(shè)計，上海，臺灣，制造。
較之前的版本節(jié)能25%，配置有省電模式。
帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積。
優(yōu)化的尺寸，即插即用。
產(chǎn)品樣本和技術(shù)手冊
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產(chǎn)品外觀圖
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